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            標準(混合)氣
            名稱/化學式 高純電子氣
            包裝規格 8L、40L、47L等
            基本信息

            品種名稱
            Product Name
            英文名
            English Name 
            化學式
            Formula
            純度(%)
            Purity
            充裝容器(L)
            Refillable Containers
            充裝量(Kg)
            Filling Volume
            氨氣 Ammonia NH3 99.9995 950、440、47、44 480、230、25、23
            99.9999
            99.99994
            99.99999
            砷烷 Arsine ASH3 99.999 50 、25 、10 、5 22.7、11.3、4.5、2.3
            99.9999
            三氯化硼 Boron trichloride BCL3 99.99 44 、16、 8 50、10、5
            99.999
            三氟化硼 Boron trifluoride BF3 99.99 44 、16、8 27.2、9.1、4.5
            99.999
            二氯二氫硅 Dichlorosilane SiH2Cl2 99.9 44、16 40.9、10
            三氟甲烷 Halocarbon-23 CHF3 99.995 44、16 31.8、5.0
            99.999
            氯化氫 Hydrogen trifluoride HCl 99.999 49、44 、16 31.7、27.2、9.1
            99.9995
            氧化亞氮 Nitrous chloride N2O 99.9995 47、16、8 27.2、9.0、4.5
            三氟化氮 Nitrogen trifluoride NF3 99.99 44、17 20、7.7
            氯硅烷 Silicon tetrachloride SiCl4 99.95 210MC、38 272、45.4
            硅烷 Silane SiH4 99.9999 470、47 125、12
            磷烷 Phosphine PH3 99.998 44 、16、 8、3 13.6、4.1、2.3、0.7
            六氟化硫 Sulphur hexafluoride SF6 99.999 40 50
            四氟化碳 Four carbon fluoride CF4 99.999 47 30
            一氧化氮 Nitrogen monoxide NO 99.9 40 3.5(Mpa)
            氯氣 Chlorine Cl2 99.999 50 60
            硼烷 Borane  B5H9 99.99 47  

             

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